機械振興賞　受賞者 業績概要詳細

　半導体ウェーハなどのダイシングにおいて、従来のブレードダイシングやレーザダイシングでは、洗浄工程に伴う廃水処理や熱ダメージによるゴミ等により歩留まりが低下する問題があった。これらの問題を解決するためにステルスダイシング技術を開発している。ステルスダイシング技術は、浜松ホトニクスが開発した、「レーザを用いて、内部加工を行ってウェーハを高品質に分割する」ダイシング方法である。今回、レーザ集光性能を高めることにより、従来の２倍性能を向上させたステルスダイシング装置を開発した。