機械振興賞　受賞者 業績概要詳細

　液晶テレビの大型化、低価格化が急速に進んでいる。これは液晶パネル露光装置の大型化と高生産性の実現によるものである。
　開発した装置は、それまでの主要硝子基板サイズであった第五世代の1100mm×1300mmを大きく凌駕する世界最大の第七世代 1870mm×2200mm（面積ベースで３倍）対応を実現したものであり、その特長は　(1)新技術を搭載した大型露光光学系　(2)大型高速・高性能ステージの開発である。
　高速露光を可能にするために、独自の30年近い実績を誇るミラー光学系を採用し、これにスリット幅拡大のの新技術を盛り込んだことで、40インチを超える大型の液晶パネルの露光においても、きわめて高い生産性を実現しており、この高い生産性が市場から高く評価され NO.１ のシェアを獲得している。