機械振興賞　受賞者 業績概要詳細

　マイクロからナノメートル台の寸法の複雑な形状を精密に加工することを、切削や研削といった旧来のオーソドックスな機械加工で実現できる超精密５軸ナノ加工機を開発した。
　開発機は、当該企業がこれまで培った空気軸受技術をベースに、最新のリニアサーボモータと同期ビルトインサーボモータで直接駆動することで構造をシンプルにし、機械加工のメリット「材料の選択肢が多い、形状の選択肢が多い、加工能率が良い、加工精度が良い、設備コストが低い」などを生かして、性能、コスト、信頼性を向上させた生産現場向けの機械である。各種形状に対応するため、５軸の機械本体上に各種の付属部品を取り付けることで、旋削、ミリング、引き切り、研削などの各加工方法が選択可能である。本開発によって、同水準精度の加工に力を発揮してきた半導体製造技術のリソグラフィー、ドライエッチングなどの技術では加工が困難であったり、生産性が著しく悪かった複雑形状を、高能率、高精度に加工することが可能となった。