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新機械振興賞 受賞者 業績概要詳細

極めて平坦な基準ガラス基板の開発

企業名:株式会社テクニカル
所在地:青森県弘前市
推薦団体:(自薦)

 平面度測定用のレーザー干渉計に使用する基準ガラス基板において、市販品としては最高クラスの精度となるλ/100(凹凸の差が6.3nm以下)の精度を持つガラス基板を開発した。製作には産業技術総合研究所の協力による平面度国家標準機および超高精度絶対形状測定装置(SDP)の測定結果と、自社での干渉計による三枚合わせ法の3種類の測定結果の相関を何度も確認する作業を行い、修正研磨の高い技術力と、歪みの少ない枠材への固定方法により実現した。