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機械振興賞 受賞者 業績概要詳細

液晶真空充填組立てシステムの開発

企業名:株式会社 日立インダストリイズ
所在地:東京都台東区
推薦団体:(社)日本半導体製造装置協会

 液晶パネル製造ラインの生産性を大幅に改善する「液晶真空充填組立てシステム」を他社に先駆けて製品化した。このシステムは、液晶をガラス基板上に滴下し、真空中で相手ガラス基板と位置合せを行って貼合せる画期的なもので、従来プロセスで長時間を要していた液晶注入作業(20時間/20inch Panel)を廃し、短時間での貼合せ(約4分/枚)を実現した。本システムは、第5世代のガラス基板(代表的な基板サイズ1250×1100mm)を対象とした液晶パネルの大型量産ラインに納入して既に稼動しており、この実績から、ほぼ全ての液晶メーカーが本プロセスを採用、あるいは採用を検討している。性能と生産性の両面から困難とされていた、液晶パネルの大型化の道を拓くとともに、市場を大きく伸ばした点で本システムの果たした意義は大きい。